Félvezető CNC megmunkált alkatrészek
Egyedi gyártást végzünkfélvezető CNC megmunkált alkatrészekvevői rajzokból és CAD-fájlokból, beleértvevákuumkamra-alkatrészek, gázelosztó lemezek és szerelvények, lapka-kezelő és szorító alkatrészek, szivattyú- és szelepalkatrészek, RF-alkatrészek, hűtőlemezek, hűtőbordák és folyamatkészlet-alkatrészek. CNC eszterga, marás, 5-tengelyes megmunkálás, svájci CNC és eszterga-maró képességeink támogatják a maratáshoz, leválasztáshoz, litográfiához, ionimplantációhoz, CMP-hez és metrológiai berendezésekhez szükséges szűk tűrésű alkatrészeket.
A félvezető berendezések alkatrészei más világban élnek, mint a közönséges ipari alkatrészek: túl kell élniükvákuum, korrozív folyamatgázok, plazma, hőmérséklet-ciklus és részecskeszabályozási-követelmények. Ezért minden félvezető megmunkálási projektben az anyagválasztás az első döntés. Pontos osztályzatokat gépelünk -316L VIM-VAR és 316L rozsdamentes, 6061-T6 és 7075-T6 alumínium, 5. fokozatú titán, TZM molibdén, OFHC réz C10100, nikkelötvözetek és PEEK/PTFE műszaki műanyagok-, és alkalmazzon tisztatérrel-kompatibilis felületeket ott, ahol az alkalmazás megköveteli. Az alkatrészeket meghatározott méretek, tűréshatárok, anyag- és kikészítési követelmények szerint gyártják, kérésre anyagtanúsítványokkal.
Az új szerszámok fejlesztéséhez szükséges egyedi prototípusoktól a tartalék folyamatkészletek ismételt gyártásáig a félvezető alkatrészeket a rajzig - megmunkáljuk, a mennyiségtől függetlenül.
CNC megmunkált alkatrészek félvezető alkalmazásokhoz

Maratási és lerakási berendezések
Kamratestek · kamrabetétek · gázelosztó lemezek · elektródaszerelvények · fókuszgyűrűk · szorítógyűrűk · zuhanyfej rögzítőelemek
Anyagok:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 5. fokozatú titán

Vákuumrendszerek és gázszállítás
Vákuumos karimák (CF/KF/ISO) · tolózár alkatrészek · gázvezeték szerelvények · VCR{0}} típusú homloktömítések · elosztóblokkok · szivattyú rögzítő alkatrészek
Anyagok:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6

Ostyakezelés és szállítás
Robotkarok · végkiegyenlítők · ostyabilincsek · élfogantyúk · kazettás alkatrészek · felvonó és villa részek · kinematikus rögzítők
Anyagok:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 berillium réz · 5. osztályú titán

Ionbeültetés és Beamline alkatrészek
Nyalábvonal alkatrészek · elektródák · nyílások · elnyomó és elszívó részek · magas{0}}hőmérsékletű pajzsok
Anyagok:TZM molibdén · Tungsten W · Ta-2,5W tantál

RF és plazma tápegységek
RF csatlakozók · átvezető házak · elektródatartók · árnyékoló alkatrészek · érintkező rugók
Anyagok:C10100 OFHC réz · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L

Hőkezelés és CMP
Hűtőlemezek · hűtőelemek · hűtőbordák · CMP fejrészek · rögzítőgyűrűk · nyomólap alkatrészek
Anyagok:C10100 OFHC réz · 6061-T6 · 316L

Metrológiai és ellenőrző berendezések
Optikai rögzítők · színpadi alkatrészek · alaplapok · beállító rögzítők · kinematikus rögzítőelemek
Anyagok:6061-T6 · 7075-T6 · 5. fokozatú titán

Nedves feldolgozó és tisztító berendezések
Tartály és fürdő alkatrészek · szórókarok · fúvókatartók · henger- és kefe alkatrészek · vegyszerálló-szerelvények
Anyagok:316L · Hastelloy C-276 · 2. fokozatú titán
Félvezető CNC megmunkált alkatrészeket gyártunk

Vákuumkamra alkatrészek
Kamratestek, fedők, bélések és szerelőgyűrűk szabályozott síksággal, tömítőfelületekkel és alacsony gázkibocsátási igénnyel.
Anyagok:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L

Vákuumos karimák és szerelvények
CF (ConFlat), KF és ISO karimák, csatlakozók, adapterek és gázvezeték szerelvények UHV szervizhez.
Anyagok:316L VIM-VAR · 316L · 304L

Gázelosztó lemezek és fúvókák
Precíziós{0}}fúrt elosztólemezek, befecskendező fúvókák és zuhanyfej rögzítő hardverek.
Anyagok:6061-T6 · 5. fokozatú titán · 316L

Ostyabilincsek, gyűrűk és fogantyúk
Fókuszgyűrűk, szorítógyűrűk, élfogantyúk és lapkavezetők szoros lapossággal és méretszabályozással.
Anyagok:6061-T6 · C17200 · 5. fokozatú titán

Robotkarok és végeffektorok
Lapátátvivő karok, villák és végkiegyenlített súllyal, merevséggel és részecskeszabályozással.
Anyagok: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200

Szivattyú és szelep alkatrészek
Házak, rotorok, lapátok, tömlők, ülések és szárrészek szárazszivattyúkhoz, tolózárak és tömeg{0}}áramlásszabályozó hardverek.
Anyagok:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276

Folyamatkészlet és fogyóeszközök
Cserélhető készlet-alkatrészek, amelyeket ismételt rendelésekhez terveztek, következetes tűréshatárokkal és tisztasággal.
Anyagok:6061-T6 · 5. fokozatú titán · 316L VIM-VAR

Hűtőlapok és hűtőbordák
Vízhűtéses lemezek, hűtőbordák és hűtőrészek, amelyek-kritikus felülettel rendelkeznek.
Anyagok:C10100 OFHC réz · 6061-T6 · 316L

RF és érintkező alkatrészek
RF házak, csatlakozó részek, érintkező rugók és EMI árnyékoló alkatrészek.
Anyagok: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Van egyedi félvezető alkatrésze? Küldje el CAD-fájlját
CNC megmunkálási eljárások félvezető alkatrészekhez
CNC esztergálás
A legjobb:Szerelvények · mellbimbók · szelepszárak · szivattyú rotorok · fúvókák
Ideális szűk koncentrikusságú hengeres alkatrészekhez.
CNC marás
A legjobb:Kamratestek · alaplemezek · elosztók · konzolok
Alkalmas lapos, prizmás és több{0}}funkciós alkatrészekhez.
5 tengelyes CNC megmunkálás
A legjobb:Végeffektorok · összetett házak · RF alkatrészek
Összetett geometriákat és összetett szögeket dolgoz fel egy összeállításban.
CNC eszterga{0}}marás
A legjobb:Gázvezeték szerelvények · tengelykapcsoló alkatrészek mart jellemzőkkel
Kombinálja az esztergálást és a marást összetett forgó alkatrészekhez.
Svájci CNC megmunkálás
A legjobb:Kis szerelvények · érzékelő alkatrészek · precíziós tűk
Kicsi, karcsú és nagy{0}}térfogatú precíziós alkatrészekhez tervezték.
CNC köszörülés és hónolás
A legjobb:Tömítőfelületek · csapágyfészek · precíziós furatok
Kritikus átmérőkhöz, illesztésekhez és tükörbevonatokhoz használják (Ra 0,1–0,4 μm elérhető).
Félvezető CNC megmunkáló anyagok
A félvezető alkatrészek esetében az anyagválasztás attól függvákuumkompatibilitás, folyamatkémia, plazmaellenállás, hőmérséklet, mágnesesség, részecskeképzés és hőkezelés. Fém és műszaki műanyagok széles skáláját gyártjuk kamrákhoz, gázrendszerekhez, ostyakezeléshez, RF és termikus alkatrészekhez.
| Anyag | Közös fokozatok | Tipikus félvezető alkalmazások | Főbb előnyök |
|---|---|---|---|
| Alumínium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Kamratestek, alaplemezek, robotkarok, hűtőbordák, konzolok | Könnyű, eloxálható, jó hővezető képességgel; A 6061-T6 a kamra hardverének igáslója |
| Rozsdamentes acél | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vákuumos karimák, gázszerelvények, szelepalkatrészek, nagy{0}}szilárdságú hardver | Korrózió- és hőmérsékletállóság; A 316L VIM-VAR az UHV alacsony-kigázosító szolgáltatás szabványa |
| Titán | 2. fokozat (CP) · 5. fokozat (Ti-6Al-4V) | Gázelosztó alkatrészek, folyamatkészletek, nedves megmunkáló hardverek | Plazma- és vegyszerállóság, nagy szilárdság---súly, nem-mágneses |
| Réz | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berillium réz | RF alkatrészek, hűtőlemezek, érintkező rugók, elektromos hardver | Kiváló elektromos és hővezető képesség; OFHC ideális rádiófrekvenciás és hőkezeléshez |
| Nikkelötvözetek | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Vegyszerálló-szerelvények, magas-hőmérsékletű alkatrészek, metrológiai szerkezetek | Vegyi és hőmérsékleti ellenállás; Az Invar 36 közel-nulla hőtágulást biztosít |
Miért a 316L VIM-VAR?Az ultra-nagy-vákuumú (UHV) alkatrészeket megmunkáljuk316L VIM-VAR- dupla-olvasztott rozsdamentes, nagyon alacsony gáztartalommal és zárványokkal. Kevesebb gázt bocsát ki, kiszámíthatóbban hegeszt, és vákuumban is tiszta marad. Ha a rajzon VIM-VAR vagy elektropolírozott 316L szerepel, teljes tanúsítvánnyal tudjuk szállítani az anyagot.
Anyagválasztás vákuum- és tisztatéri környezetekhez
Vákuumos kompatibilitás és gázkibocsátás
A kamrában lévő anyagok nem bocsáthatnak ki gázt, és nem zárhatják be a részecskéket. 316L VIM-VAR, 6061-T6 gyakori választás; a porozitást és a felületi minőséget szabályozzák, hogy alacsony legyen a gázkibocsátás.
Vegyi és plazmaállóság
A halogén és fluorozott technológiai gázok számos fémet megtámadnak. A TZM molibdén, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, 5. fokozatú titán a korrozív kémia és a plazma expozíció szempontjából választott.
Részecske- és szennyeződés-ellenőrzés
A kopás, az élek és a beszorult törmelék olyan részecskéket termelnek, amelyek elpusztítják a hozamot. Csomagolás előtt sorjázunk minden élt, ellenőrizzük a felület egyenetlenségét, és a tisztatéri szabványoknak megfelelően tisztítjuk az alkatrészeket.
Hőkezelés
A hő befolyásolja a folyamat egyenletességét. A C10100 OFHC réz és a 6061-T6 hűtőlemezek és hűtőbordák hűtésére szolgál; A TZM és a wolfram kezeli a magas hőmérsékletű gerenda- és kamrarészeket.
Mágneses és elektromos tulajdonságok
Egyes eljárásokhoz nem{0}}mágneses anyagok, például 316L, 5. osztályú titán szükséges; Az RF és a földelő hardver OFHC réz C10100 és berillium réz C17200.
Pontosság és stabilitás
A metrológiai és litográfiai alkatrészeknek méretstabilitásra van szükségük: 6061-T6 és 7075-T6 alumínium, 5. fokozatú titán tartásgeometria a hőmérséklet változásai miatt.
Félvezető CNC megmunkálási tűrések és specifikációk
A félvezető alkatrészek gyakran mikron{0}}szintű pontosságot igényelnek a tömítőfelületeken, a rögzítési pontokon, a lapka-érintkezési felületeken és a precíziós furatokon, így a szerszámok megfelelően szerelhetők össze, és a folyamatok megismételhetők maradnak.
| Specifikáció | Tipikus képesség | Tipikus félvezető alkalmazások |
|---|---|---|
| Lineáris méretek | ±0,01 mm (±0,005 mm-es pontosság) | Kamrarészek, alaplemezek, elosztók |
| Furat és tengely átmérője | ±0,005–0,01 mm | Szivattyú rotorok, szelepszárak, precíziós szerelvények |
| Laposság | 0,01 mm/100 mm-ig | Tömítőfelületek, hűtőlemezek, kinematikus rögzítők |
| Koncentricitás / kifutás | 0,01 mm-ig | Forgó szivattyú alkatrészek, tengelykapcsolók |
| Valódi Pozíció | ±0,01 mm | Csavar{0}}furatminták, gázelosztó furatok |
| Felületi érdesség | Ra 0,2–0,8 μm szabvány; Ra 0,1-0,4 μm kérésre | Tömítőfelületek, ostya{0}}érintkezési felületek, kamrabelsők |
| Élsorjázás | Rajzonként vezérelhető (mikro{0}}sorjázás elérhető) | Minden részecske{0}}kritikus rész |
| Szál tolerancia | ISO/ASME követelményeknek megfelelően | Szerelvények, karimák, szerelvények |
Az általunk irányított kritikus funkciók
Tömítés és O-gyűrű hornyok- szabályozott mélység, szélesség és felületkezelés a vákuum- és folyadéktömítésekhez.
Wafer{0}}Érintkezőfelületek- a laposság és az érdesség szabályozása az ostya károsodásának és a részecskék képződésének elkerülése érdekében.
Precíziós furatok és illeszkedések- pontos furatok a csapágyakhoz, tengelyekhez és prés{1}}illeszthető alkatrészekhez.
Gázelosztó furatok- pontos furatméret, pozíció és sorjázás az egyenletes gázáramlás érdekében.
Nullapont és szerelési jellemzők- konzisztens nullapontok az ismételhető összeállításhoz és igazításhoz.
Félvezető CNC alkatrészek felületkezelése
A felületkezelés része a félvezető berendezések szennyeződési és korróziós stratégiájának. A megfelelő felület szabályozza a részecskéket, a gázkibocsátást, a vegyszerállóságot és az elektromos viselkedést.
| Felületi kidolgozás | Alkalmazható anyagok | Tipikus félvezető alkatrészek | Fő előny |
|---|---|---|---|
| Elektropolírozás | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vákuumos karimák, gázvezetékek, kamrabetétek | Eltávolítja a felületi anyagokat és zárványokat; csökkenti a gázkibocsátást és a részecskék befogását |
| Passziválás | 316L · 304L · 17-4 PH | Szerelvények, kötőelemek, szelepalkatrészek | Eltávolítja a szabad vasat, javítja a korrózióállóságot |
| II típusú eloxálás | 6061-T6 · 6063-T5 | Kamratestek, alaplemezek, konzolok | Szigetelő, korrózióálló-réteg; szín opciók |
| Kemény eloxálás (III. típus) | 6061-T6 · 7075-T6 | Kopófelületek, vezetők, robotalkatrészek | Kemény, kopásálló-védőréteg |
| Elektromos nikkelezés | 6061-T6 · 7075-T6 · Acél | Kamra hardver, folyamatkészlet alkatrészei | Egységes kopás- és korrózióvédelem |
| Aranyozás | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF érintkezők, csatlakozó alkatrészek | Alacsony érintkezési ellenállás, korrózióvédelem |
| Ónozás | C10100 · C11000 | Elektromos vezetékek, gyűjtősínek | Forraszthatóság és korrózióvédelem |
| Gyöngyszórás | 6061-T6 · 316L · Acél | Házak, burkolatok, nem{0}}kritikus felületek | Egyenletes matt felület (ellenőrzött részecskekibocsátás érdekében) |
| Tisztatér takarítás | Minden anyag | Minden alkatrész csomagolás előtt | Többlépcsős ultrahangos tisztítás, olaj, maradék, részecske-mentes |
Félvezető CNC megmunkálási minőségellenőrzés
A gyártás során ellenőrizzük a kritikus méreteket, illeszkedéseket, síkságot, kifutási és felületi követelményeket, hogy megbizonyosodjunk arról, hogy a CNC megmunkálású félvezető alkatrészek megfelelnek a rajznak. A dokumentált minőséget igénylő projekteknél anyagtanúsítványokat, méretjelentéseket és tisztasági dokumentációt tudunk biztosítani a beérkező ellenőrzés alátámasztására.

Anyagellenőrzés

Anyagellenőrzés

Méretvizsgálat

GD&T ellenőrzés

Menetvizsgálat

Felületi kidolgozás vizsgálata

Végső ellenőrzés

Csomagolás ellenőrzése
| Ellenőrzési tétel | Berendezés / Módszer | Tipikus félvezető alkatrészek |
|---|---|---|
| Méretvizsgálat | CMM · Tolómérők · Mikrométerek | Az alkatrész teljes méretei |
| Furat és tengely átmérője | Furatmérő · Tűmérő · CMM | Szivattyú rotorok, szelepszárak, szerelvények |
| Laposság és párhuzamosság | Felületi lemez · CMM | Tömítőfelületek, hűtőlemezek |
| Valódi Pozíció | CMM | Lyukminták, gázelosztó lemezek |
| Felületi érdesség | Érdességvizsgáló | Tömítőfelületek, ostya{0}}érintkezési felületek |
| Menetvizsgálat | Go/No{0}}Go Thread Gauges | Szerelvények és kötőelemek |
| Anyagellenőrzés | Spektrométer + Anyagtanúsítvány | Bejövő nyersanyag (EN 10204 3.1 elérhető; VIM-VAR tanúsítvány kérésre) |
| Tisztasági ellenőrzés | Vizuális + részecskeellenőrzés kérésre | Tisztatérben{0}}szállított alkatrészek |
| Végső ellenőrzés | CMM + vizsgálati jelentés | Végső méret elfogadás |
Prototípus és kis{0}}térfogatú CNC megmunkálás félvezetőkhöz
A félvezető projektek gyakran prototípusokkal - kezdődnek, új szerszámtervekkel, folyamatkészlet-fejlesztéssel, frissített alkatrészekkel vagy cserealkatrészekkel, amelyeket a gyártás előtt érvényesíteni kell. Mi támogatjukprototípus és kis{0}}mennyiségű CNC megmunkálása kezdeti mintáktól az ismétlődő kis{0}}köteges rendelésekig.
Prototípus megmunkálás
Új szerszámfejlesztéshez, folyamatérvényesítéshez és tervezési változtatásokhoz.
Tipikus mennyiség:1-10 db
Alacsony-mennyiségű gyártás
Pilótarendszerekhez, szerszámfrissítésekhez és kezdeti gyártási futtatásokhoz.
Tipikus mennyiség:10–1,000+ db
Gyártás ismétlése
Tartalék folyamatkészletekhez és ismétlődő rendelésekhez, megalapozott kialakítással.
Tipikus mennyiség:A projekt követelményei alapján
Alkalmas
Vákuumkamra és gázszállító hardver
Ostyakezelő és rögzítő alkatrészek
Maratási, lerakási és ionbeültetési alkatrészek
RF, elektromos és hőszabályozó alkatrészek
Metrológiai és ellenőrző berendezések
Pótalkatrészek és folyamatkészletek meglévő szerszámokhoz
Csomagolás és átfutási idő félvezető CNC alkatrészekhez

Csomagolás
Egyéni védelem:PE zacskók, hab vagy védőfólia megmunkált felületekhez
Tisztatéri csomagolás:A megtisztított részek dupla{0}}zsákban, tiszta zacskóban (nitrogén-öblítési lehetőség elérhető)
Kis alkatrészek:Elválasztott kartondobozok a karcolás és az alkatrészek közötti-a- érintkezés elkerülése érdekében
Precíziós alkatrészek:Habbetétek és külön rekeszek a kritikus alkatrészek számára
Egyedi csomagolás:Cikkszámok, címkék, mennyiségek és ügyfélspecifikus csomagolási{0}}követelmények
Tipikus átfutási idő
| Rendelés típusa | Tipikus átfutási idő |
|---|---|
| Prototípus | 5-10 munkanap |
| Alacsony-mennyiségű rendelés | 10-20 munkanap |
| Gyártási rendelés | 15-30 munkanap |
| Ismételje meg a rendelést | 10-25 munkanap |
GYIK
K: Milyen félvezető CNC megmunkált alkatrészeket gyárthat?
V: Egyedi vákuumkamra-alkatrészeket, karimákat és gázvezeték-szerelvényeket, gázelosztó lemezeket, ostyabilincseket és gyűrűket, robotkar-alkatrészeket, szivattyú- és szelepalkatrészeket, ionimplanter-nyaláb-alkatrészeket, rádiófrekvenciás alkatrészeket, hűtőlemezeket, hűtőbordákat és folyamatkészlet-alkatrészeket gyártunk félvezető berendezésekhez.
K: Milyen CNC megmunkálási tűréseket érhet el?
V: A szabványos CNC-tűrésünk jellemzően ±0,05 mm, a precíziós megmunkálás ±0,02 mm-ig, a kiválasztott kritikus jellemzők pedig ±0,005–0,01 mm-ig terjednek, a geometriai, anyag- és rajzi követelményektől függően.
K: Tudsz szállítani 316L VIM-VAR-t vákuum alkatrészekhez?
V: Igen. Ultra-nagy-vákuum szolgáltatáshoz 316L VIM-VAR (vákuum indukciós olvasztás és vákuumív újraolvasztott) alacsony gáztartalmú, anyagtanúsítvánnyal szállítjuk. Elektropolírozás áll rendelkezésre a gázkibocsátás és a részecskebefogás csökkentése érdekében.
K: Kínál tisztatérrel{0}}kompatibilis tisztítást és csomagolást?
V: Igen. Az alkatrészeket többlépcsős ultrahangos-tisztítással, szárítással és dupla-tasakba csomagolhatjuk tiszta zacskókba (nitrogénöblítés opcionális), hogy a felületek részecskéket-mentesen tartsanak a tisztatéri szállításhoz.
K: Szállíthat anyagtanúsítványokat és vizsgálati jelentéseket?
V: Igen. A projekt követelményeitől függően anyagtanúsítványokat (EN 10204 3.1, beleértve a VIM-VAR tanúsítványt), méretellenőrzési jelentéseket, CMM-jelentéseket és felületkezelési jegyzőkönyveket tudunk biztosítani.
K: Megmunkálhat nem{0}}mágneses alkatrészeket?
V: Igen. Nem{1}}mágneses minőségeket készítünk, beleértve a 316L rozsdamentes acélt, az 5. osztályú titánt, a 6061-T6 alumíniumot és a PEEK-et olyan alkalmazásokhoz, ahol a mágnesességet kerülni kell.
K: Milyen felületkezelést alkalmaznak a félvezető alkatrészeken?
V: Anyagtól és alkalmazástól függően elektropolírozást, passziválást, II-es és III-as típusú kemény eloxálást, elektromos nikkelezést, arany- és ónozást, szemcseszórást és tisztatér tisztítást kínálunk.
K: Elfogad 2D rajzokat és CAD fájlokat?
V: Dolgozhatunk általános STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF és 2D rajzfájlokból.
K: Támogatja a prototípusokat és a kis{0}}mennyiségű gyártást?
V: Igen. Támogatjuk a prototípusok 1–10 darabos mennyiségét, a kis-volumen 10–1,000+ darabos gyártást, valamint a folyamatkészletek és pótalkatrészek ismételt gyártási megrendeléseit.
K: Mi a tipikus átfutási idő a félvezető CNC alkatrészeknél?
V: A tipikus átfutási idő 5–10 munkanap prototípusok, 10–20 munkanap kis mennyiségű-megrendelések esetén, és 15–30 munkanap gyártási rendelések esetén, az alkatrész összetettségétől, mennyiségétől, anyagától és kidolgozásától függően.
Népszerű tags: félvezető CNC megmunkált alkatrészek, Kína félvezető CNC megmunkált alkatrészek gyártók, beszállítók, gyár, titán
Egy pár
nemKövetkező
Tengeri CNC megmunkált alkatrészekAkár ez is tetszhet
A szálláslekérdezés elküldése











